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相關標簽: 微電子 微光刻
微電子技術工藝基礎——微光刻與微/納米加工技術,是人類迄今為止能夠達到納米級精度的加工技術,其加工設備和加工工藝也在不斷發展以滿足芯片加工從微米到納米尺度的需求。一旦將電子元件作到納米量級,其芯片的運行速度和內存都將大幅度提高,從而為未來的單電子計算機或納米計算機的設計與實現開辟一條新的途徑。
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