課程介紹
相關標簽: MEMS 清華 微系統 王喆垚
本課程全面介紹MEMS的基礎理論、分析設計方法、制造技術、典型產品和器件,嘗試通過本課程掌握微型化技術。課程內容包括基礎力學與物理學、微加工技術、封裝集成技術、傳感器、執行器、RF MEMS、光學MEMS和BioMEMS與微流體。
課程強調設計與制造相結合、前沿與基礎相結合;著重提取基礎、重點和共性知識,強調基礎理論和制造方法在不同領域的應用,并緊密結合前沿的學術研究和工業界的產品發展動態。
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