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微電子工藝(哈爾濱工業大學)

集成電路 微電子 共110課時 11小時37分37秒
簡介

本課程是“電子信息科學與技術”、“微電子科學與工程”等專業的核心課程。全面系統地介紹了微電子工藝基礎知識,重點闡述了芯片制造單項工藝,包括:外延、熱氧化、擴散、離子注入、化學汽相淀積、物理汽相淀積、光刻、刻蝕。還介紹了金屬互連、典型工藝集成、關鍵工藝設備,以及微電子工藝未來發展趨勢。通過本課程的學習能使學生對微電子工藝技術有全面了解,為后續專業課程學習打下堅實基礎。也利于學生專業素養的提高。

本課程特色在于對關鍵工藝所依托的理化基礎知識進行了闡述,并通過實驗視頻對關鍵工藝參數測試技術也進行了介紹。


使學習者掌握微電子關鍵工藝的基本原理、方法、用途;熟悉主要工藝設備及檢測儀器;了解典型集成電路芯片的制造流程。

課程目錄
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講師簡介

王蔚 哈爾濱工業大學 - 教授級高工,主講“微電子工藝”、“納米技術”等多門課程。

田麗哈 爾濱工業大學 - 教授級高工, 講授微電子工藝、生物芯片、微納米技術等專業課,研究興趣包括微流控芯片、BioMEMS傳感器與執行器等領域。以第一/二作者發表論文三十余篇,已授權發明專利七項。

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